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    立式炉

          
    

          

          
    
          
    
          
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            立式炉
        
                    

          
    
          
        
    立式炉
        

          
     该设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、 分立器件、电力电子、光电器件等行业的磷/硼扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺
； 主要用于初始氧化层、栅氧化层、场氧化层等多种氧化介质层的制备工艺。


          
    
          
    
          
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        立式炉
        

          

          

          

          
            
          
            
          
                
            
          
        
            
          
        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          

          


          


          

          
    
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