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    SiC高温氧化

          
    

          

          
    
          
    
          
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            SiC高温氧化设备
        
                    

          
    
          
        
    SiC高温氧化设备
        

          
    ? 专门用于硅碳化合物(SiC) 的氧化处理，可实现SiC片在高温真空环境下完成高温氧化工艺。氧化工艺使用湿法氧化气体或N2O、NO、NO2,是最安全的毒性气体氧化炉

? 设备适用于SiC基功率器件制造中的高温氧化工艺环节

? 加热腔与工艺腔独立密闭设计，提供工艺腔的洁净度

          
    
          
    
          
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        SiC高温氧化
        

          

          

          

          
            
          
            
          
                
            
          
        
            
          
        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          

          


          


          

          
    
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