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    LPE外延炉

          
    

          

          
    
          
    
          
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            LPE外延炉
        
                    

          
    
          
        
    LPE外延炉
        

          
    ◆ 气相外延是一种单晶薄层生长方法

◆ 气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系

◆ 在半导体科学技术的发展中，气相外延发挥了重要作用

◆ 砷化踪(GaAs)气相外延技术生长的砷化鲸(GaAs)纯度高、电学特性好，广泛的应用于霍尔器件、耿氏二极管、场效应晶体管等微波器件中

          
    
          
    
          
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        LPE外延炉
        

          

          

          

          
            
          
            
          
                
            
          
        
            
          
        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          
	
          
		
          

          
    
          

        

                    
          

        
    
          
    
    
    
    


          
 
          

          


          


          

          
    
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