GaAs / InP 单晶生长设备-产品展示-山东力冠微电子装备有限公司-半导体装备制造

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坩埚下降炉

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本设备主要用于砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）等化合物晶体生长。设备由机架、安瓿支撑机构、加热器和控制系统组成，能够实现安瓿移动和转动的精确控制。

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